(1)氯气/氯化氢深度干燥

　　在多晶硅行业生产工艺中，需要通过化学手段获得高纯度的三氯氢硅，而三氯氢硅的合成必须使用高纯度的氯气、氢气和氯化氢气体(水含量≤10ppm)，因此必须对商品氯气(含水400～1000ppm)和合成的氯化氢(含水1000～3000ppm)进行深度干燥，在氯碱行业，需要将干燥氯气用于化工生产原料。天博游戏公司提供专用吸附剂及变温吸附工艺技术，可将氯气中的水脱至2ppm以下，目前这类装置我公司市场占有率达90%以上。

　　技术特点及优势

　　µ 技术先进成熟，工艺流程简单，运行稳定可靠

　　µ 脱水深度高，氯气/氯化氢气体损失小，无二次污染

　　µ 运行能耗低，脱水成本低，经济效益好

　　µ 装置自动化程度高，可实现网络远程监控，无人值守

　　µ 较其它传统方法投资省，建设周期短，占地小

　　应用领域

　　T 氯气、氯化氢等高酸性气体的深度干燥

　　(2)多晶硅尾气回收氯硅烷及氢气技术

　　在多晶硅生产过程中，三氯氢硅合成工序、氢还原工序和四氯氢硅氢化工序等，副产含氢气、氯化氢、二氯氢硅、三氯氢硅、四氯氢硅的尾气。针对该尾气特点，天博游戏公司专门开发了氯硅烷和氯化氢专用吸附剂及配套的吸附分离工艺技术，可将尾气中的氯硅烷、氯化氢以及氢气近100%的回收，实现多晶硅生产过程的闭路循环，大幅降低原料消耗，提高多晶硅企业经济效益。

　　技术特点及优势

　　µ 技术先进成熟，工艺流程简单，运行稳定可靠

　　µ 氯硅烷专用吸附剂分离系数高，氯硅烷回收率高

　　µ 回收的氯化物和氢气纯度高，完全可满足多晶硅装置的生产要求

　　µ 运行能耗低，经济效益好

　　µ 装置自动化程度高，可实现网络远程监控，无人值守

　　µ 较低温分离法投资省，建设周期短，占地小

　　应用领域

　　T 多晶硅生产过程尾气中氯硅烷、氯化氢和氢气的分离回收